渤海大學(xué)科研平臺(tái)巡展——遼寧省微電子工藝控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

本期為大家介紹的科研平臺(tái)是

遼寧省微電子工藝控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

科研平臺(tái)基本情況

人員情況

本實(shí)驗(yàn)室科研團(tuán)隊(duì)共27人，63%的教師有行業(yè)經(jīng)歷，教授及同等職稱3人，占11.1%；副教授及同等職稱7人，占25.9%；中級(jí)職稱人數(shù)15人，占55.6%，初級(jí)職稱人數(shù)2人，占7.4%。整個(gè)團(tuán)隊(duì)中，具有博士學(xué)位的11人，占40.7%；具有碩士學(xué)位的12人，占44.4%，專任教師中具有博士學(xué)位的比例達(dá)到47.6%。教師分別來(lái)自東北大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、吉林大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、蘇州大學(xué)、遼寧大學(xué)、長(zhǎng)春理工大學(xué)等學(xué)校，學(xué)緣結(jié)構(gòu)合理。教師的年齡結(jié)構(gòu)合理，30歲以下4人，30～40歲間的教師有16人，40以上的教師有7人。

左圖：高精度光刻機(jī)

右圖：高密度等離子體刻蝕機(jī)

設(shè)備情況

“微電子工藝控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”擁有全套半導(dǎo)體器件與集成電路關(guān)鍵制造工藝設(shè)備，涵蓋清洗、氧化、擴(kuò)散、蒸發(fā)、濺射、光刻、CVD、刻蝕等11道主要工序，建筑面積300 m2，設(shè)備總價(jià)值600余萬(wàn)元，可制造成品晶硅太陽(yáng)能電池、晶體三極管、集成電路放大器等，并對(duì)其進(jìn)行測(cè)試驗(yàn)證，供新能源材料與器件、微電子科學(xué)與工程、材料類、物理類、精密儀器類等專業(yè)的學(xué)生進(jìn)行生產(chǎn)實(shí)習(xí)和畢業(yè)設(shè)計(jì)，每年接納學(xué)生能力為1200 人次左右。

科研平臺(tái)取得的標(biāo)志性科研成果

近五年來(lái)，本實(shí)驗(yàn)室共獲得國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目5項(xiàng)，省部級(jí)項(xiàng)目20余項(xiàng)，其他項(xiàng)目40余項(xiàng)，共計(jì)科研經(jīng)費(fèi)200余萬(wàn)元。橫向項(xiàng)目30余項(xiàng)，共計(jì)經(jīng)費(fèi)300余萬(wàn)元；發(fā)表科研論文100余篇，其中被SCI、EI檢索論文50余篇；出版專著5本；授權(quán)專利20余項(xiàng)；獲得省級(jí)教學(xué)成果獎(jiǎng)一項(xiàng)，錦州市自然科學(xué)成果獎(jiǎng)5項(xiàng)。

科研平臺(tái)培養(yǎng)本科生情況

本科生科研素質(zhì)方面培養(yǎng)

本實(shí)驗(yàn)室依托微電子科學(xué)與工程專業(yè)，主要培養(yǎng)具有小規(guī)模集成電路和分立半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)、加工和測(cè)試等能力的高級(jí)本科人才。學(xué)生畢業(yè)后能夠從事集成電路和分立半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)和技術(shù)開(kāi)發(fā)工作。

本科生實(shí)踐動(dòng)手能力培養(yǎng)

本實(shí)驗(yàn)室注重學(xué)生實(shí)踐能力的培養(yǎng)。首先，針對(duì)微電子科學(xué)與工程專業(yè)實(shí)驗(yàn)技能的特點(diǎn)，增強(qiáng)學(xué)生動(dòng)手能力的培養(yǎng)，加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量，配備就業(yè)方向相關(guān)實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容，對(duì)學(xué)生的培養(yǎng)更加全面。其次，創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)基地、工程中心等一系列與課堂教學(xué)配套的實(shí)踐項(xiàng)目，進(jìn)一步培養(yǎng)學(xué)生實(shí)踐動(dòng)手能力。

本科生實(shí)習(xí)、就業(yè)方面培養(yǎng)

本實(shí)驗(yàn)室在實(shí)驗(yàn)方案和實(shí)驗(yàn)題目制定過(guò)程中充分考慮學(xué)生就業(yè)需要，堅(jiān)持分流培養(yǎng)、分層教學(xué)、因材施教的原則，針對(duì)學(xué)生的成績(jī)、愛(ài)好和發(fā)展目標(biāo)，采用模塊化教學(xué)模式推動(dòng)學(xué)生的知識(shí)、能力和素質(zhì)穩(wěn)步提高。

本科生創(chuàng)新能力培養(yǎng)

本實(shí)驗(yàn)室每年度均設(shè)置多項(xiàng)大學(xué)生實(shí)踐創(chuàng)新訓(xùn)練、大學(xué)生“挑戰(zhàn)杯”和學(xué)科競(jìng)賽、創(chuàng)業(yè)計(jì)劃等創(chuàng)新訓(xùn)練項(xiàng)目。

服務(wù)區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展情況

本實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)持“立足遼西，服務(wù)遼寧，輻射全國(guó)”的理念，積極參與微電子科學(xué)與工程專業(yè)應(yīng)用型人才過(guò)程。利用實(shí)驗(yàn)室與企業(yè)搭建的產(chǎn)學(xué)研平臺(tái)，學(xué)生可定期接受企業(yè)相關(guān)培訓(xùn)，讓學(xué)生切身感受到企業(yè)環(huán)境的熏陶，獲得實(shí)踐鍛煉機(jī)會(huì)。聘請(qǐng)企業(yè)高管授課，結(jié)合企業(yè)實(shí)際為本專業(yè)學(xué)生的人生規(guī)劃、學(xué)業(yè)規(guī)劃和專業(yè)素質(zhì)訓(xùn)練提供有價(jià)值的指導(dǎo)，不斷提升微電子科學(xué)與工程專業(yè)服務(wù)地方的能力和水平。

以上就是今天

對(duì)遼寧省微電子工藝控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的介紹

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